Inficon Transpector CPM - Page 9

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Transpector CPM Operating Manual
6.3.2 Turbo Molecular Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.3.2.1 Turbo Molecular Pump Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.4 Nitrogen Purge Valve for the Turbo Molecular Pump on Corrosive Pumping
Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.5 Filament Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.5.1 Interlock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.5.2 Total Pressure Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.5.3 Filament Lifetime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.6 Pneumatic Digital Pressure Switch and Pressure Gauge . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.6.1 Setup Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.6.2 How to Test for Proper Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
6.6.3 How to Lock and Unlock the Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
Chapter 7
Maintenance
7.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Safety Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.1 Toxic Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.2 Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.3 Electrical Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.3 Maintenance Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.3.1 Bakeout of Quadrupole. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.3.2 Spare Heating Jacket . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4 General Instructions For All Repair Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 Required Tools, Materials, or Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.1 Tools for Replacing the Filament Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.2 Tools for Replacing the Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.3 Tools for Replacing the Electron Multiplier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.4 Parts Required For Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.6 Changing Diaphragms in the Foreline Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6.1 Replacement Interval . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6.2 Diaphragm kit PN 923-418-G1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6.3 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.7 Transpector Sensor Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
7.7.1 How to Determine if a Filament Kit Replacement is Required . . . . . . . . . . 7-17
7.7.2 Transpector Sensor Filament Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
7.7.3 Transpector Sensor Ion Source Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-20
7.7.4 Electron Multiplier Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
7.8 HexBlock Inlet Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-29
7.8.1 Valve and Orifice Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-29