HP 4062UX - Page 8

Installing the SWM on a Wafer Prob er . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Automatic Wafer Prob ers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
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Manual and Small Automatic Wafer Prob ers . . . . . . . . . . . . . 3-10
Connecting Test Fixtures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
4. System Installation
Intro duction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Installing the System Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Stabilizing the System Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
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Installing Power Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
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When an Emergency O Unit is Furnished . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
When an Emergency O Unit is NOT Furnished . . . . . . . . . . . . 4-5
Installing Power Cables for Each Instrument . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Changing the Line Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Fuse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Installation of HP 4142B DC Subsystem (DCS) . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Installing the Customer's HP 4142B . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Installing the HP 4142B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
HP 4142B DCS Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
Installation of HP 4280A Capacitance Measurement Subsystem (CMU) . . . 4-12
Installing the Customer's HP 4280A . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
Installing the HP 4280A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
HP 4280A CMU Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Installation of HP 4284A Capacitance Measurement Subsystem (CMU84) . . 4-16
Installing the Customer's HP 4284A . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
Installing the HP 4284A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
HP 4284A CMU84 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
Installation of HP 8110A Pulse Source Subsystem (PSS) (HP 4062F Only) . . 4-19
Installing the Customer's HP 8110A . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
Installing the HP 8110A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
HP-IB Cables and Addresses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
HP-IB Addresses and Connections of the Rack Mounted Instruments . . . 4-26
HP-IB Address and Connection of the Wafer Prob er . . . . . . . . . . . 4-30
Installing Signal Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31
When Your System is HP 4062UX . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31
When Your System is HP 4062F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-36
Removing System Instruments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-43
Testing Each Instrument. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-44
Testing Emergency O Unit and Power Distribution Unit (PDU) . . . . . 4-44
Testing Power Distribution Unit (PDU) (HP 4062UX Only) . . . . . . . 4-45
Testing Each System Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-46
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-46
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