Contents
Keysight B1505A Configuration and Connection Guide
To Connect Module Selector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-27
To Connect HVSMU/HCSMU Fast Switch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-32
To Connect HVSMU Current Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-34
To Connect Ultra High Current Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-36
Connecting System Cable to N1265A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-37
To Connect Ultra High Voltage Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-38
To Connect Device Capacitance Selector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-40
To Connect Gate Charge Adapter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-43
To Connect N1274A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-44
To Connect N1275A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-45
To Install an Interlock Circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-47
Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-48
To Connect Interlock Circuit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-49
About Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-50
To Make Connection to Reduce Leakage Current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-51
To Make Connection to Measure Low Resistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-52
To Connect UHVU/HVSMU/HVMCU Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-53
6. Accessory Dimensions
7. Connection and Ordering Examples
Package Device Measurement Configuration Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-3
3kV, 20A Configuration (B1505AP-H20 equivalent). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-4
3kV, 20A with Capacitance Measurement Configuration (B1505AP-H21
equivalent) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-6
3 kV, 500 A or 1500 A Configuration (B1505AP-H50 or B1505AP-H70 equivalent). . .7-8
3 kV, 500 A or 1500 A with Capacitance Measurement Configuration
(B1505AP-H51 or B1505AP-H71 equivalent) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-10
10 kV, 500 A or 1500 A Configuration (B1505AP-U50 or B1505AP-U70
equivalent) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-12
Add High Resolution Measurement (10 fA resolution with MPSMU or HPSMU)
Capability to 3 kV, 20 A Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-14
3 kV, 20A, High Voltage Medium Current Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-16
3 kV, 40 A Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-18
Add High Resolution Measurement Capability (10 fA resolution with MPSMU
or HPSMU) to 3 kV, 500A Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-21
10 kV, 500 A, High Voltage Medium Current Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-23
Configuration Examples for Lateral Device Measurement with Wafer Prober . . . . . . . . .7-25
3 kV, 20 A Measurement for On-Wafer Lateral Device. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-26
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