FEI Scios 2 - Page 4

Table of Contents
CONFIDENTIAL – FEI Limited Rights Data
C-ii
Entering Commands in Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-54
Using Mouse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-54
Using Keyboard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55
Chapter 4 Alignments
Common Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Buttons and Control Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Alignments List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Automatic Alignments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Magnification Correction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
E-Column: Aperture Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
E-Column: Preventive Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
E-Column: Supervisor Alignments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
100 – ION: Source Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
I-Column: Aperture Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-16
I-Column: Manual Beam Alignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-17
I-Column: Alignments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-18
Stage Alignments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
154 – Water Bottle Venting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-21
Plasma Cleaning / External Plasma Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
Pump Buffer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-23
Vacuum Actions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
254 – GIS Alignment (option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-25
Chapter 5 Operating Procedures
Specimen Preparation and Handling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Needed Items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Natural specimen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Coated Specimen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Mounting Specimen on Holder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Specimen Baking Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
Microscope Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
Operation Pre-Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
Inserting / Exchanging Specimen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Selecting Vacuum Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Imaging Onscreen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Optimizing Imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Principles of SEM Imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Magnification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Scan Speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Contrast & Brightness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Focusing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Correcting Astigmatism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Direct Adjustments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Digital Imaging Enhancement / Imaging Mixing / Coloring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
Accelerating Voltage and Beam Currents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
Column Use Cases. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
Standard Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-19
Everhart Thornley Detector (ETD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
Infrared CCD Camera . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
Low Vacuum Detector (LVD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-20
Trinity Detectors T1 / T2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
T1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
T2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
T3 (option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
Capturing and Handling Single Image. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-22