FEI Scios 2 - Page 5

Table of Contents
CONFIDENTIAL – FEI Limited Rights Data
C-iii
Image Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-22
Saving / Opening / Printing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
Recording Movies (Saving Multiple Images) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
Movie Settings Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
Movie Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26
Movie Creator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
Stage Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
Eucentric Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
Software Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32
Stage Related Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
Patterns / Measurements / Annotations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-43
Patterning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-44
Patterning Control Module. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-45
Patterns Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-48
Advanced Patterning tab Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-50
Gas Injection Module (option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-52
Application Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-53
Milling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-55
Viewing Cross Sections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-58
Chapter 6 Maintenance
Cleaning Procedures Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
List of Applied Cleaners . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
Cleaning Column Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Materials and Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Aperture Strip Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Removing Aperture Rod . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Replacing Aperture Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Installation of Aperture Rod . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Exchange procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
Stage Mechanics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
Specimen Holders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
Refilling Water Bottle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Chapter 7 System Options
Manual User Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
Joystick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
Uninterruptible Power Supply (UPS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Optional Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Retractable Detectors Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Trinity Detector T3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Ion Conversion and Electron detector (ICE) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Retractable Directional Backscattered Detector (DBS) – 
Angular Backscattered Detector (ABS) / Concentric Backscattered Detector (CBS) . . . . . . . 7-6
Optional detectors connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
Directional Gaseous Analytical Detector (GAD). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
Retractable Annular Scanning Transmission Electron Microscopy Detector 
(STEM 3 / STEM 3+) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Nav-Cam # . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-12
Capturing Navigation Image Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-12
Energy Dispersive X-ray (EDX) Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-13
High Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-13
Low Vacuum EDX Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-13
STEM EDX Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-13
External Current Measurement (Keithley Picoamper Meter) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-14