FEI Scios 2 - Page 6

Table of Contents
CONFIDENTIAL – FEI Limited Rights Data
C-iv
EasyLift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-15
EasyLift Module Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-15
EasyLift Display Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
EasyLift: Needle Exchange / Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
EasyLift Basic Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-19
MEMS – Heating Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
MEMS Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
MEMS Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-24
Software Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-24
Remote Imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
Connection to Microscope PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
Microscope PC’s Desktop Sharing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
Controlling Microscope Remotely. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
UMB Stub Holder Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-28
Beam Deceleration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-29
Detection Principles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-29
Beam Deceleration Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-30
I-Beam Charge Neutralizer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-32
Using Charge Neutralizer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-32
Quick Loader . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-34
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-34
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-37
Operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-38
CryoCleanerEC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-40
Parts and Accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-40
CryoCleaner Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-42
Spare Vessel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-42
Plasma Cleaner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
Sample Cleaning Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Chamber Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Specimen Holder Kit Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-45
Location Positions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-45
Interface Pillar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-45
Torx Drivers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-45
Clamp Stubs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-46
Multi-Holders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-46