Oxford Instruments OpAL - Health and Safety; Introduction

Health and Safety Oxford Instruments Plasma Technology Plasmalab and Ionfab
Health and Safety
Printed:06 April 2010, 09:32 Page 1-1 of 24 Issue 18: April 2010
1. Health and Safety
ontents C
1. Health and Safety ..........................................................................................................................................1-1
1.1 Introduction ..............................................................................................................................................1-2
1.1.1 Warnings and Cautions.................................................................................................................1-2
1.2 Service mode...........................................................................................................................................1-3
1.3 Hazard Categories...................................................................................................................................1-3
1.4 ci Spe fic Hazards......................................................................................................................................1-5
1.4.1 Electrical ........................................................................................................................................1-5
1.4.2 Electromagnetic Radiation ............................................................................................................1-6
1.4.3 Light...............................................................................................................................................1-7
1.4.4 High Temperature..........................................................................................................................1-8
1.4.5 Low Temperature ..........................................................................................................................1-8
1.4.6 Gases ............................................................................................................................................1-9
1.4.7 Precursor materials .....................................................................................................................1-11
1.4.8 Materials......................................................................................................................................1-12
1.4.9 Process Chemicals......................................................................................................................1-15
1.4.10 Vacuum........................................................................................................................................1-15
1.4.11 Compressed air ...........................................................................................................................1-16
1.4.12 Mechanical ..................................................................................................................................1-16
. 1 4.13 General........................................................................................................................................1-17
.5 Warning and advisory labels .................................................................................................................1-18 1
A l’attention des clients de langue française
Le document hygiène et securité est disponible en français. Vous devez
vous assurer que cette version est présente dans ce manual. Si elle est
manquante, contactez votre representant Oxford Instruments Plasma
Technology.
Für deutschsprachige Kunden
besteht dieses Kapitel “Health and Safety” unter dem Titel “Sicherheit und
Unfallverhütung” auch in deutscher Fassung, die in diesem Handbuch
enthalten sein sollte. Falls diese fehlt, fordern Sie bitte ein Exemplar bei
Oxford Instruments Plasma Technology an.