Inficon SQC-310 - Page 10

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PN 074-550-P1D
SQC-310 Operating Manual
1.6.2.2 Handheld Remote Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.2.3 Rack Mount Kits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.2.4 Crystal Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.7 Initial Power-On Verification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
Chapter 2
Installation
2.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 Front Panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 Rear Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.4 System Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.5 Ground Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.5.1 Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.6 Handheld Remote Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.7 Rack Mount . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.7.1 Full Rack Extender . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.7.1.1 Inventory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.7.1.2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.7.2 Rack Adapter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.7.2.1 Inventory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.7.2.2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.8 I/O Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.9 Interfacing SQC-310 to CI-100 Crucible Indexer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.9.1 BCD I/O Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.9.2 Individual (Binary - as defined by CI-100) I/O Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.10 Interfacing SQC-310 to EBS-530 E-Beam Sweep Controller. . . . . . . . . . . 2-14
Chapter 3
Operation
3.1 Thin Film Deposition Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.1.1 Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.1.2 Thin Film Deposition Phases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2 SQC-310 Menu Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3 Main Screen, Menu 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.4 Main Screen, Menu 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.5 Main Screen, Menu 3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.6 Quick Edit Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.7 Process Menus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.8 Process Menu - Edit Layer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.9 Layer Copy, Insert, and Delete Menus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15