Inficon SQC-310 User Manual

TOC - 1
PN 074-550-P1D
SQC-310 Operating Manual
Table Of Contents
Cover Page
Title Page
Trademarks
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Copyright
Declaration Of Conformity
Warranty
Chapter 1
Introduction
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Related Operating Manuals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
1.2 SQC-310 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
1.2.2 General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3
1.2.3 Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3
1.3 How to Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
1.3.1 Returning SQC-310 to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
1.4 SQC-310 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
1.4.1 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
1.4.2 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.3 Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.4 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
1.4.5 Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.6 Operating Environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
1.4.7 Dimensions & Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
1.4.8 Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
1.4.9 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-8
1.4.10 Process Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.11 Layer Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.12 Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-9
1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-10
1.6 Configurations and Accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-10
1.6.1 SQC-310 Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-10
1.6.2 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11
1.6.2.1 Cables and Oscillator Kits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11

Inficon SQC-310 Specifications

General

Brand	Inficon
Model	SQC-310
Category	Controller
Language	English