ASAP 2460 Operator’s Manual Table of Contents
246-42800-01 - Nov 2013 vii
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E. MAINTAINING HIGH PURITY GASES
Using Metal Gas Lines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . E-1
Removing Trapped Air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . E-1
Purge Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . E-2
Evacuation Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . E-3
F. DFT MODELS
Models Based on Statistical Thermodynamics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-1
Theoretical Background . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-1
Molecular Simulation Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-2
Molecular Dynamics Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-2
Monte Carlo Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-2
Density Functional Formulation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-3
Models Included. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-7
Non-Local Density Functional Theory with Density-Independent Weights . . . . . . . . F-7
Non-Local Density Functional Theory with Density-Dependent Weights . . . . . . . . . F-7
Models Based on Classical Theories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-13
Surface Energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-13
Pore Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-13
Models Included. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-14
Kelvin Equation with Halsey Thickness Curve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-14
Kelvin Equation with Harkins and Jura Thickness Curve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-15
Kelvin Equation with Broekhoff-de Boer Thickness Curve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-16
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . F-17
G. "mic" MODULE FOR PYTHON SCRIPTED USER-DEFINED REPORTS
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Smart VacPrep Operator Manual