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Agilent Technologies 5DX - Page 18

Agilent Technologies 5DX
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xviii Table of Contents
5DX Series 3
10. Maintenance
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-2
Maintenance Activity Conventions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3
Preventative Maintenance (PM) Checklist . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-4
General Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-7
Check the Operation of the System Status Beacon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-7
Check X-ray High Voltage Power Supply Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-9
Check X-ray Tube Dielectric Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-11
Check the Panel View Camera Light. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-13
Electronics Bay Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-15
Check the Focus Coil Power Supply Setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-15
Clean All Filters and Fans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-18
Main Cabinet Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-22
Check the Vac-Ion Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-22
Check the System Air Pressure/Low Pressure Regulator . . . . . . . . . . . . . . . .10-26
Inspect the Laser Camera Lights. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-27
Inspect Main Cabinet Cables. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-29
Inspect the XYZ Stage Conveyor Belts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-30
Inspect Left and Right PIP Sensor Flags. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-31
Lubricate the XYZ Stage Lead Screws and Rails . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-33
Clean and Inspect the Rotary Scintillator Shield. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-36
Check the Auto Width Adjust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-37
Clean and Inspect the Main Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-39
Lubricate XYZ Stage Rail Cars. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-40
Replace the XYZ Stage Conveyor Belts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-41
Replace the Conveyor Belt Motor Control Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-41
Software Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-42
Check the Inner Barrier Encoders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-42
Run Position Repeatability Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-43
Run Resolution Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-44
Run X-ray Safety Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45
Run the Confirmation and Adjustment Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45
Backup the Hard Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45

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