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xviii Table of Contents

5DX Series 3

10. Maintenance

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-2

Maintenance Activity Conventions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3

Preventative Maintenance (PM) Checklist . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-4

General Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-7

Check the Operation of the System Status Beacon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-7

Check X-ray High Voltage Power Supply Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-9

Check X-ray Tube Dielectric Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-11

Check the Panel View Camera Light. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-13

Electronics Bay Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-15

Check the Focus Coil Power Supply Setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-15

Clean All Filters and Fans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-18

Main Cabinet Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-22

Check the Vac-Ion Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-22

Check the System Air Pressure/Low Pressure Regulator . . . . . . . . . . . . . . . .10-26

Inspect the Laser Camera Lights. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-27

Inspect Main Cabinet Cables. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-29

Inspect the XYZ Stage Conveyor Belts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-30

Inspect Left and Right PIP Sensor Flags. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-31

Lubricate the XYZ Stage Lead Screws and Rails . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-33

Clean and Inspect the Rotary Scintillator Shield. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-36

Check the Auto Width Adjust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-37

Clean and Inspect the Main Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-39

Lubricate XYZ Stage Rail Cars. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-40

Replace the XYZ Stage Conveyor Belts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-41

Replace the Conveyor Belt Motor Control Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-41

Software Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-42

Check the Inner Barrier Encoders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-42

Run Position Repeatability Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-43

Run Resolution Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-44

Run X-ray Safety Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45

Run the Confirmation and Adjustment Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45

Backup the Hard Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-45

Agilent Technologies 5DX Service Guide

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