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Agilent 5DX Service Guide xv

5DX Series 3

4. Power Subsystem

Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2

Power Distribution Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4

Input Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5

Switched Output Terminals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5

Unswitched Output Terminals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6

Controls and Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6

High/Low Line Monitoring/Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-7

Emergency Shutdown . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-7

PDU Circuit Breakers and Fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-8

Wiring Diagrams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9

Low Voltage Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-15

Focus Coil Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-15

VacIon Pump Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-17

Camera Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-17

X-ray High Voltage Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-18

Emergency Stop Buttons and X-Ray Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-20

Long Term Shutdown For the Agilent 5DX System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-22

Startup Procedure For the Agilent 5DX System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-24

Recover From an Emergency Stop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

System Status Beacon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-30

5. Panel Handling Subsystem

Panel Handling Subsystem Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2

Agilent 5DX Panel Handling Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4

Panel Handling Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4

Configuring a System for Right to Left Flow Through. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6

Dual Panel Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6

SMEMA Interface Standards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6

Communication Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-8

SMEAMA Connections through the Digital I/O Assembly . . . . . . . . . . . . . . .5-11

Panel Handling Subsystem Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-13

X-ray Cabinet and Barriers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14

Outer Cabinet and Outer Barriers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14

Inner Cabinet and Inner Barrier. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15

XYZ Stage Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-16

X-Axis and Y-Axis Servomotors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-17

Z-Axis Stepper Motors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-19

Agilent Technologies 5DX Service Guide

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