Agilent Technologies 5DX - Page 15

Agilent 5DX Service Guide xv
5DX Series 3
4. Power Subsystem
Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Power Distribution Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Input Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Switched Output Terminals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Unswitched Output Terminals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6
Controls and Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6
High/Low Line Monitoring/Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-7
Emergency Shutdown . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-7
PDU Circuit Breakers and Fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-8
Wiring Diagrams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Low Voltage Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-15
Focus Coil Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-15
VacIon Pump Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-17
Camera Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-17
X-ray High Voltage Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-18
Emergency Stop Buttons and X-Ray Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-20
Long Term Shutdown For the Agilent 5DX System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-22
Startup Procedure For the Agilent 5DX System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-24
Recover From an Emergency Stop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
System Status Beacon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-30
5. Panel Handling Subsystem
Panel Handling Subsystem Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Agilent 5DX Panel Handling Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Panel Handling Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Configuring a System for Right to Left Flow Through. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6
Dual Panel Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6
SMEMA Interface Standards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-6
Communication Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-8
SMEAMA Connections through the Digital I/O Assembly . . . . . . . . . . . . . . .5-11
Panel Handling Subsystem Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-13
X-ray Cabinet and Barriers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14
Outer Cabinet and Outer Barriers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14
Inner Cabinet and Inner Barrier. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15
XYZ Stage Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-16
X-Axis and Y-Axis Servomotors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-17
Z-Axis Stepper Motors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-19