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xvi Table of Contents

5DX Series 3

XYZ Stage Panel Conveyor Assemblies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-20

XYZ Stage Panel Conveyor Belts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-22

Motion Control Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-28

Motion Control Diagnostic Access Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-29

Servo Modules. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-32

Backplane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-33

Automatic Width Adjust (AWA) and Z-Axis Stepper Drivers . . . . . . . . . . . . .5-33

Motion Enable Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-34

Motor Relay Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-35

Motion Controller PCI Cards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-38

Motion Controller PCI 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-38

Motion Controller PCI 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-41

Digital I/O Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-42

Panel Handling Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-51

6. Pneumatic Subsystem

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2

Pneumatic Subsystem Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3

Pneumatic Gauge, Regulator, and Filter Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-4

Main Safety Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-6

Internal Manifold. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-7

Inner Barrier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-8

Barrier Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-11

Adjusting the Air Cylinder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-14

Other Inner Barrier Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-15

Adjustment/Replacement of the Inner Barrier Encoder . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-16

Setting the Positions for the Encoder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-20

Agilent Technologies 5DX Service Guide

Other manuals for Agilent Technologies 5DX