AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 109
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crius_II_en_00, Edition 06/2010
System Manual Operation
CRIUS II
5 Operation
5 Operation
5.1 General operating elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
5.1.1 EMERGENCY-OFF and PROCESS-STOP buttons. . . . . . . 110
5.1.2 Main switch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
5.1.3 Power [ON/OFF] buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
5.1.4 Signal lamp. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
5.1.5 Key switch for operating mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
5.2 Operating elements: Glove box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
5.2.1 Main switch for components of the glove box. . . . . . . . . . . . 115
5.2.2 Gloves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
5.2.3 Control panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
5.2.4 Control box inside of the glove box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
5.2.5 Pedal switches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
5.2.6 Vacuum cleaner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
5.2.7 Vacuum wand (optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
5.2.8 Vacuum tweezers (optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
5.2.9 N
2
pistole (optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
5.3 Operating elements: Reactor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
5.3.1 [OPEN/CLOSE] buttons - reactor lid/chamber . . . . . . . . . . . 119
5.3.2 Key switch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
5.3.3 [OPEN/CLOSE] buttons - reactor bottom . . . . . . . . . . . . . . . 120
5.3.4 [Pins up/down] buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
5.3.5 Pressure control unit for throttle valve . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
5.3.6 Temperature control unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
5.4 Operating elements: Heating. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
5.4.1 Main switch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
5.5 Operating elements: Gas system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
5.5.1 Control unit for the thermostat heat bath . . . . . . . . . . . . . . . 123
5.6 Operator terminal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
5.7 Switching the CRIUS II on and off. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
5.7.1 Switching on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
5.7.2 Switching off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
5.8 Preparing for a process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127
5.8.1 Actions inside of the glove box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127
5.8.2 Loading substrates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
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