AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 131
6
crius_II_en_00, Edition 06/2010
System Manual Maintenance
CRIUS II
6 Maintenance
6 Maintenance
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.1 Personnel qualifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.2 Visual inspections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.3 Maintenance contract . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.4 Logbook . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.5 OEM manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.6 Spare parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
6.1.7 RMA (Return Material Authorization) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
6.1.8 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
6.1.9 Maintenance mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
6.2 Auxiliary devices and used materials. . . . . . . . . . . . . . . . 135
6.2.1 Auxiliary devices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
6.2.2 Contaminated parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
6.2.3 Solid waste materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
6.2.4 Operating materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
6.3 Maintenance schedule . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
6.3.1 Maintenance schedule: Main power supply . . . . . . . . . . . . . 138
6.3.2 Maintenance schedule: Low power supply. . . . . . . . . . . . . . 138
6.3.3 Maintenance schedule: SCS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
6.3.4 Maintenance schedule: Glove box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
6.3.5 Maintenance schedule: Reactor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
6.3.6 Maintenance schedule: Heating system. . . . . . . . . . . . . . . . 140
6.3.7 Maintenance schedule: Vacuum system . . . . . . . . . . . . . . . 140
6.3.8 Maintenance schedule: Pneumatic system . . . . . . . . . . . . . 141
6.3.9 Maintenance schedule: Gas mixing system . . . . . . . . . . . . . 141
6.3.10 Maintenance schedule: Cooling water system . . . . . . . . . . . 141
6.4 Lockout/tagout (LOTO) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
6.5 Information on elastomer seals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
6.5.1 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
6.5.2 Checking elastomer seals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
6.6 Cleaning procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
6.6.1 Fused quartz glass parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
6.6.2 SiC-coated graphite parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
6.6.3 Molybdenum parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
6.6.4 Stainless steel parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 148
6.7 Main power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
6.7.1 Hazard alerts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
6.7.2 Checking the main switch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
6.7.3 Checking the fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
6.7.4 Checking the over-current circuit breakers. . . . . . . . . . . . . . 151
6.7.5 Checking the EMERGENCY-OFF buttons . . . . . . . . . . . . . . 152
6.8 Low power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
6.8.1 Checking the low power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
6.8.2 Checking the fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
6.9 Glove box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
6.9.1 Checking the control panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
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