AIXTRON CRIUS II - Use, data; Introduction to Use and Data; User Qualifications for CRIUS II; System Identification Details

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AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 5

crius_II_en_00, Edition 06/2010

System Manual Use, data

CRIUS II

1Use, data

1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

1.1.1 Validity of this System Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

1.1.2 Intended use of the CRIUS II . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

1.1.3 Other uses and applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

1.1.4 Use of this System Manual. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.1.5 Worldwide AIXTRON service centers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.2 User qualifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

1.3 Training . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

1.4 System identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

1.4.1 Type label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

1.5 Dimensions and weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

1.5.1 Dimensions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

1.5.2 Weight. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

1.6 Installation data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.6.1 Amperes interrupting capacity (AIC). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.6.2 Environmental conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.6.3 Pneumatic supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.6.4 Cooling water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

1.7 Conformance statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16