AIXTRON CRIUS II - Installation Procedures for CRIUS II; Installation Introduction; Packaging and External Transport; Unpacking and Internal Transport

AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 99
4
crius_II_en_00, Edition 06/2010
System Manual Installation
CRIUS II
4Installation
4 Installation
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
4.2 Packaging and external transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
4.3 Unpacking and internal transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.3.1 Hazard alerts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.3.2 Unpacking. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.3.3 Internal transport by means of a crane. . . . . . . . . . . . . . . . . 103
4.3.4 Internal transport by means of a lift truck . . . . . . . . . . . . . . . 105
4.4 Site Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.5 Media connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.6 Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.7 Checks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.7.1 Final inspection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108