AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 55
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crius_II_en_00, Edition 06/2010
System Manual Description
CRIUS II
3 Description
3 Description
3.1 Process technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
3.1.1 CVD (Chemical Vapor Deposition) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
3.1.2 System principle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
3.2 System overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
3.3 Glove box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
3.4 Load lock. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
3.4.1 Load lock chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
3.4.2 Manual susceptor transfer handler (optional) . . . . . . . . . . . . . 61
3.5 Reactor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
3.5.1 Showerhead . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
3.5.2 Susceptor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
3.5.3 Tungsten heater . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
3.5.4 Temperature control unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
3.5.5 Double O-ring system (DOR) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
3.5.6 In-situ layer thickness measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
3.6 Gas system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
3.6.1 Gas diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.6.2 Run and vent lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
3.6.3 Purge gas lines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.6.4 Hydride source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
3.6.5 MO source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
3.6.6 Controlling and measuring components . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
3.6.7 Gas purifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
3.7 Electrical supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
3.8 Vacuum system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
3.8.1 Vacuum pumps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
3.8.2 Vacuum diagrams. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
3.8.3 Pressure control unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
3.8.4 Exhaust filter unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
3.9 Media supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
3.9.1 Water supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
3.9.2 Pneumatic supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
3.10 Safety Control System (SCS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
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