AIXTRON CRIUS II - Page 132

crius_II_en_00, Edition 06/2010
132 CONFIDENTIAL AIXTRON - Dokumentation
Maintenance System Manual
CRIUS II
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6.9.2 Replacing the particle filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
6.9.3 Cleaning the pump filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
6.9.4 Checking the gloves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157
6.9.5 Checking the O-rings of the gloves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157
6.9.6 Checking the tightness of the glove box. . . . . . . . . . . . . . . . 158
6.10 Reactor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
6.10.1 Hazard alerts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
6.10.2 Moving reactor components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
6.10.2.1 Opening the reactor lid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 160
6.10.2.2 Opening the reactor chamber. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
6.10.3 Checking the O-rings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
6.10.4 Checking the susceptor rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
6.11 Vacuum system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
6.11.1 Hazard alerts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
6.11.2 Process pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
6.11.3 Checking the KF clamps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
6.11.4 Checking the throttle valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
6.11.5 Checking the pneumatic valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
6.11.6 Searching for leaks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168
6.12 Pneumatic system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
6.12.1 Pneumatic maintenance unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
6.12.2 Checking the working pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
6.12.3 Checking the pressure sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170
6.12.4 Checking the EPV valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170
6.13 Gas system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 171
6.13.1 Removing an MO bubbler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 171
6.13.2 Installing an MO bubbler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173
6.13.3 Checking the communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175
6.13.4 Performing a zero offset of a MFC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
6.14 Cooling water system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
6.14.1 Checking the water pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
6.14.2 Cleaning the water filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179
6.14.3 Checking the water flows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
6.14.4 Unintended release of liquid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181