AIXTRON CRIUS II - Storage and Disposal of CRIUS II; System Storage Procedures; System Disposal Guidelines

AIXTRON - Dokumentation CONFIDENTIAL 183
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crius_II_en_00, Edition 06/2010
System Manual Storage, disposal
CRIUS II
7 Storage, disposal
7 Storage, disposal
7.1 Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
7.1.1 Deactivating the system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
7.1.2 Storage conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
7.2 Disposal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
7.2.1 Personnel qualifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
7.2.2 Safety regulations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
7.2.3 Statutory basis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
7.2.4 Disposal: Other assemblies and components . . . . . . . . . . . 187
7.2.5 Recycling of materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188