Inficon HAPSITE Smart - Page 25

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IPN 074-397-P1G
HAPSITE Smart Operating Manual
14.9 Physically Removing the HAPSITE from the Service Module . . . . . . . . . 14-20
14.10 Storing the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-22
14.11 When Power to the Service Module is Lost . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-25
Chapter 15
Maintenance
15.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
15.2 Safety Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
15.3 HAPSITE Symptom - Cause - Remedy Chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-3
15.4 Required Environment for General Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7
15.5 Contamination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7
15.5.1 Contamination of the Mass Spectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.1.1 Symptoms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.1.2 Decontamination. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.2 Contamination of the Gas Chromatograph. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.2.1 Symptoms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.2.2 Decontaminate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.5.3 Contamination of the Probe and Probe Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9
15.5.3.1 Symptoms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9
15.5.3.2 Decontaminate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9
15.6 NEG Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-11
15.6.1 Bakeout Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-13
15.6.2 Reactivating the NEG Pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-14
15.7 NEG Pump Removal, Installation and Activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-15
15.7.1 Required Tools and Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-16
15.7.2 Part 1: NEG Pump Removal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-17
15.7.3 Part 2: Service Module Vacuum Interconnect (VI) Valve Cleaning . . . . . 15-22
15.7.4 Part 3: Install the New NEG Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-27
15.7.5 Part 4: Leak Check of the Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.7.6 Part 5: Activation of the NEG Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-38
15.8 Replacing the Ionizer of the Mass Spectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-40
15.9 Replacing The Column In The Gas Chromatograph . . . . . . . . . . . . . . . . 15-47
15.10 Replacing the HSS Needle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-51
15.11 Cleaning the Air Filters in the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-54
15.11.1 Opening the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-55
15.11.2 Cleaning The Air Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-56
15.11.3 Closing The Service Module. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-56
15.12 Battery Charger Maintenance and Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . 15-57
15.12.1 Cleaning The Battery Charger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-57