KLA Tencor P-16+ - Page 13

List of Figures
P/N 0142530-000 AB LOF-1
3/13/09
Chapter 1 Introduction & Safety
Figure 1.1 Power Cord Plug Lockout/Tagout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Chapter 2 Basic Skills
Figure 2.1 Logon Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Figure 2.2 Program Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Figure 2.3 Profiler Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Figure 2.4 Profiler Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
Figure 2.5 Clearing the Status Diagnostic Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
Figure 2.6 Contact Scan Stylus Tip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
Figure 2.7 Scan Recipe Window in the Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
Figure 2.8 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Figure 2.9 Video Control Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
Figure 2.10 Export File Formats in Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
Figure 2.11 Catalog Screen – Database File Manager Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
Figure 2.12 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15
Figure 2.13 Graphics Export Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15
Figure 2.14 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
Chapter 3 Scan Recipes
Figure 3.1 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Figure 3.2 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Figure 3.3 Title Bar for Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Figure 3.4 Menu Bar for
Scan Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
Figure 3.5 ToolBar Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Figure 3.6 Scan Recipe information in the List Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
Figure 3.7 Tool Bar Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Figure 3.8 System Status Message Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Figure 3.9 Recipe Editor for a 2D UNTITLED Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Figure 3.10 3D Parameters in the Information Display Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Figure 3.11 2D Scan Category Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
Figure 3.12 X Scan Size (mm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
Figure 3.13 Scan Trace Comparison - Large vs. Small Stylus Radius . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
Figure 3.14 Data Collection When Using a Large Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
Figure 3.15 Data Collection When Using a Small Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Figure 3.16 2D Scan Options With Sampling Rate Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Figure 3.17 Teach Scan Length, from the 2D Scan Teach Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
Figure 3.18 3D Scan Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
Figure 3.19 Traces - Scan Perimeter with Traces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
Figure 3.20 Scan Time - Scan Parameters Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
Figure 3.21 Stylus Parameters (2D and 3D) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
Figure 3.22 Vertical Ranging - Profile Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
Figure 3.23 Feature Detection - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
Figure 3.24 Feature Detection Point Locations on a Step . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-33
Figure 3.25 Feature Detection Point Locations for Convex and Concave . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33