KLA Tencor P-16+ - Page 23

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential LOT-3
Friday, March 13, 2009
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Table 7.8 Edit Menu Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
Table 7.9 View Menu Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
Table 7.10 Change Menu Option From the View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-22
Table 7.11 Change Menu Option From the View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
Table 7.12 Operations Menu Options (From Menu Bar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
Table 7.13 Data Menu Options (From Menu Bar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-30
Table 7.14 Tools Menu Options (From Menu Bar). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-31
Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started
Chapter 9 Stress (Optional feature)
Table 9.1 Tool Bar Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
Table 9.2 Elastic Constant of Substrates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8
Table 9.3 Stress Calculation Results Box Contents. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11
Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)
Table 10.1 Common Terms Defined . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
Table 10.2 Field Descriptions in the 3D Stress Recipe Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
Table 10.3 Field Descriptions in the Alignment Section of the Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
Table 10.4 Field Descriptions in the Substrate Specification Section of the Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Table 10.5 Tool Bar Icons for the Stress Map Image Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13
Table 10.6 Tool Bar Icons for Adjusting Image Rendered . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14
Chapter 11 System Security
Table 11.1 Security Configuration Editor Sections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4
Table 11.2 Access Policy Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-11
Chapter 12 Calibrations
Table 12.1 Standard Calibration Matrix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
Chapter 13 Stylus Change Procedure
Table 13.1 Available L-Stylus Radius. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
Chapter 14 Configuration
Chapter 15 Preventive Maintenance
Table 15.1 Weekly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
Table 15.2 Monthly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
Table 15.3 Semi-Annual PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
Chapter 16 Backup and Restore
Appendix A Hazardous Materials
Table A.1 Hazardous Materials List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2
Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment
Table B.1 Minimum Parts Required. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1