KLA Tencor P-16+ - Page 15

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential LOF-3
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Figure 3.77 Recipe Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100
Chapter 4 XY View Screen
Figure 4.1 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Figure 4.2 Move Extents Dialog Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Figure 4.3 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Figure 4.4 Distance Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Figure 4.5 View Menu and the Stage and Zoom Coordinate Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Figure 4.6 Save Zoom Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
Figure 4.7 P-16+ MicroHead Measurement Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
Figure 4.8 P-16+ Focusing the Optics (Dual-View Optics). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
Figure 4.9 Coordinate System of the KLA-Tencor Profiler Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
Figure 4.10 XY View Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Figure 4.11 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
Figure 4.12 Teach Die Grid Screen with Loaded Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
Figure 4.13 Scan Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Figure 4.14 Warning – Automatic Null . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Figure 4.15 Teach Die Grid Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
Figure 4.16 Teach Die Grid - Teach First Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
Figure 4.17 Teach Die Grid - Teach Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
Figure 4.18 Teach Die Grid - Lower Right Corner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
Figure 4.19 Teach Die Grid - With Feature in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
Figure 4.20 Teach Die Grid - Die Grid Simulation in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
Figure 4.21 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
Figure 4.22 Load Sequence Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27
Figure 4.23 Die Grid Menu From the Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-28
Figure 4.24 Setting Alignment Angle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-30
Figure 4.25 Move Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31
Chapter 5 View Scan Window
Figure 5.1 2D Single Scan View Scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Figure 5.2 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Figure 5.3 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
Figure 5.4 Scan screen - real time Trace Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Figure 5.5 2D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Figure 5.6 3D View Scan Screen During a Single Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Figure 5.7 3D View Scan Screen During a Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Figure 5.8 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Figure 5.9 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Figure 5.10 View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Figure 5.11 Top View Image of the 3D Scan In Progress . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
Figure 5.12 Sequence Scan Screen with Die Measurement Site Map . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
Chapter 6 Sequence Recipe and Data
Figure 6.1 Sequence Editor Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Figure 6.2 Sequence Recipe Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Figure 6.3 Scan Sequence Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Figure 6.4 Sequence Editor for NEW Recipe with Pattern Recognition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
Figure 6.5 Options Section in the Sequence Editor (Optional feature, P-16+ only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6