KLA Tencor P-16+ - Page 16

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
LOF-4 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Figure 6.6 Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Figure 6.7 Load Die Grid Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Figure 6.8 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
Figure 6.9 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
Figure 6.10 Pattern Rec. Deskew Teach: Site 1 Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-9
Figure 6.11 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
Figure 6.12 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
Figure 6.13 Sequence Editor Set Up for New Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-12
Figure 6.14 Sequence Editor - Teach Scan Location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-13
Figure 6.15 Teach Location for First Recipe Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
Figure 6.16 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
Figure 6.17 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
Figure 6.18 XY View with Sequence Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
Figure 6.19 Sequence Editor Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-17
Figure 6.20 Sequence Editor with New Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
Figure 6.21 Sequence Editor – Sequence Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-22
Figure 6.22 Sequence Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
Figure 6.23 Sequence Editor – Mode Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
Figure 6.24 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
Figure 6.25 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
Figure 6.26 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
Figure 6.27 Queue Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
Figure 6.28 Runtime View with the Sequence Queue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-30
Figure 6.29 Correlation Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
Figure 6.30 Correlation Sub-scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-33
Figure 6.31 Sequence Parameter Data window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-36
Figure 6.32 Sequence Summary Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-37
Figure 6.33 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39
Figure 6.34 Profiler Sequence Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-42
Figure 6.35 Pattern Rec. Deskew Teach Window After Teach . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-43
Figure 6.36 Pattern Recognition and Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-44
Figure 6.37 Groping Retry Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-45
Figure 6.38 Analysis Screen with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-49
Figure 6.39 Save Data Set Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-49
Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data
Figure 7.1 Scan Catalog Screen with Scan Data Active. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
Figure 7.2 3D Analysis Screen with 3D Object Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Figure 7.3 Analysis Tool Bar Image Rotation Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Figure 7.4 Manual Image Rotation Handles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Figure 7.5 Image Rotation Using the Rotate Image Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Figure 7.6 Right-Click Menu – Mouse Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Figure 7.7 Analysis Tool Bar Graphics Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Figure 7.8 Analysis Screen - Tool Activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-7
Figure 7.9 Analysis Screen - Zoom Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
Figure 7.10 Analysis Screen with Zoom Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
Figure 7.11 Analysis Screen – Using the Zoom In Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
Figure 7.12 Analysis Screen – Zoomed In Area . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Figure 7.13 Analysis Screen – Unzoom Using Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-10
Figure 7.14 Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16