KLA Tencor P-16+ - Page 17

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential LOF-5
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Figure 7.15 Parameters Menu from the Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-25
Figure 7.16 3D Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-26
Figure 7.17 3D Recipe Editor with Roughness/Waviness Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
Figure 7.18 Bearing Ratio/Cutting Depth in Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
Figure 7.19 Recipe Editor - 3D Cursors Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33
Figure 7.20 3D Line by Line Leveling Cursor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33
Figure 7.21 3D Line by Line Leveling Cursor Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-34
Figure 7.22 Line Leveling Top View Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-35
Figure 7.23 Recipe Editor with 3D Cursors Window Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-36
Figure 7.24 Set Viewing Parameters Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-37
Figure 7.25 Line Leveling Dialog Box After Cursors Positioned . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-38
Figure 7.26 Image Arithmetic Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-39
Figure 7.27 Analysis Screen - Analysis Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
Figure 7.28 3D Analysis Tool Bar with Slice Tool Activated . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
Figure 7.29 Analysis Screen with View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-42
Figure 7.30 Analysis Screen with Slice Tool Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
Figure 7.31 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
Figure 7.32 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Figure 7.33 Analysis Window with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started
Figure 8.1 Empty Document . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
Figure 8.2 General Toolbar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Figure 8.3 Studiables Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Chapter 9 Stress (Optional feature)
Figure 9.1 Stress Calculation Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Figure 9.2 13 Point Least Square Fit Calculation Illustration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4
Figure 9.3 Precision Locator on the Stage (P-16+) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-9
Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)
Figure 10.1 The 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Figure 10.2 3D Stress Buttons Found in the 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Figure 10.3 3D Stress Recipe Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
Figure 10.4 Edit Substrates Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Figure 10.5 Substrate Properties Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Figure 10.6 Edit Substrate Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Figure 10.7 Recipe Dropdown Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
Figure 10.8 3D Stress Catalog Window and Stress Data Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
Figure 10.9 Pre and Post Measurement Data Designation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
Figure 10.10 Film Thickness Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
Figure 10.11 Default Format of the 3D Stress Analysis Window in Apex . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
Figure 10.12 Stress Map Calculated by Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Figure 10.13 3D Stress Toolbar in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Figure 10.14 3D Stress Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-15
Figure 10.15 Angular Data Image in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-16
Figure 10.16 Save As Window for Saving Only the Xml Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17
Figure 10.17 3D Stress File Selection Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18