KLA Tencor P-16+ - Page 18

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
LOF-6 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Chapter 11 System Security
Figure 11.1 Log On Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
Figure 11.2 Log On Dialog at Runtime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
Figure 11.3 Security Configuration Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-3
Figure 11.4 XML Configuration Saved . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-5
Figure 11.5 Group User Admin - Manage Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
Figure 11.6 Load from OS Import Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
Figure 11.7 Choose Users From Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
Figure 11.8 Edit Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-7
Figure 11.9 Change User Password . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-7
Figure 11.10 Save Users to Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
Figure 11.11 Access Policy Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-9
Figure 11.12 Edit Access Policy Setting for Windows Shutdown Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Figure 11.13 Saving the Access Policy Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Figure 11.14 Application Lifecycle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-15
Figure 11.15 Add Programs to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-16
Figure 11.16 Save Changes to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-17
Figure 11.17 Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-18
Figure 11.18 Modify Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19
Figure 11.19 Persist Autologon to Operating System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19
Figure 11.20 My Computer/Manage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-21
Figure 11.21 User Account Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-22
Figure 11.22 New User Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-22
Figure 11.23 Security Group Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-23
Figure 11.24 Profiler Security Group Members . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-24
Figure 11.25 Add a User to a Security Group . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-25
Figure 11.26 Windows XP User:Engineer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-26
Figure 11.27 Add a Security Group to a User . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-26
Figure 11.28 Examples of Operator and Engineer Security Group Access . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-27
Chapter 12 Calibrations
Figure 12.1 Catalog Screen - Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-2
Figure 12.2 Calibrations Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
Figure 12.3 Applied Force Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-2
Figure 12.4 Manual Load from the Video Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-4
Figure 12.5 Message Prompt and Focus Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
Figure 12.6 XY Video Display Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
Figure 12.7 Step Height Calibration Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-7
Figure 12.8 Navigation Window Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-8
Figure 12.9 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
Figure 12.10 Calibration Menu in the Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-9
Figure 12.11 Step Height Calibration Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
Figure 12.12 Saving the New Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-12
Figure 12.13 Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
Figure 12.14 Level Calibration Warning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
Figure 12.15 Tilt Calibration System Status Load Wafer Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-14
Figure 12.16 Tilt Axis Angle Calibration Value Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-15
Figure 12.17 Activating Focus in the XY VIEW Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
Figure 12.18 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16