KLA Tencor P-16+ - Page 19

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential LOF-7
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Figure 12.19 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Figure 12.20 Teach Lowest Elevator Position Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Figure 12.21 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
Figure 12.22 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
Figure 12.23 P6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
Chapter 13 Stylus Change Procedure
Figure 13.1 Profiler [Catalog] - Click on the Calibration Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3
Figure 13.2 Stylus Force Calibration Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3
Figure 13.3 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-4
Figure 13.4 Stylus ID Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5
Figure 13.5 Message Box for Stylus Name Affirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5
Figure 13.6 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6
Figure 13.7 Supporting Stylus Mount During Stylus Change . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6
Figure 13.8 Sensor Assembly - Loosening Stylus Clamp Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7
Figure 13.9 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7
Figure 13.10 Supporting Stylus and Mount During Tightening Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8
Figure 13.11 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8
Figure 13.12 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-9
Figure 13.13 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10
Figure 13.14 Message Box Requesting SPO Standard Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10
Figure 13.15 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
Figure 13.16 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
Figure 13.17 Window Buttons - _OFF150- Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-12
Figure 13.18 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13
Figure 13.19 Set Default Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13
Figure 13.20 Scan Parameter Definition - _OFF150 - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14
Figure 13.21 ZOOM IN - Scan Offset Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14
Figure 13.22 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16
Figure 13.23 Aligning the Tool with Screen Crosshair . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16
Figure 13.24 Align Screen Crosshair with 150 mm Crosshair Pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17
Figure 13.25 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17
Figure 13.26 Scan: _OFF150 Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18
Figure 13.27 Trace Path Through Upper Triangle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18
Figure 13.28 Data Analysis Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19
Figure 13.29 Scan Data Portion of the Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19
Figure 13.30 Coarse Scan Data Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
Figure 13.31 “Unknown Situation” Corrective Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
Figure 13.32 Pre Acceptance Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21
Figure 13.33 Analysis Screen with Cursors Manually Placed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21
Figure 13.34 Scan Offset Calibration, Analysis Information Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-22
Figure 13.35 Hand Selecting the Triangle Data in Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
Figure 13.36 Accepting Adjusted Scan Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
Chapter 14 Configuration
Figure 14.1 System Geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
Figure 14.2 Example Sample Stage Tilt Calibration Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3
Figure 14.3 Example Sample Stage X-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
Figure 14.4 Example Y-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
Figure 14.5 Stylus Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-5