KLA Tencor P-16+ - Page 20

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
LOF-8 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Figure 14.6 Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-6
Figure 14.7 Stage Configuration Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-7
Figure 14.8 Configuration Screen - Lowest Elevator Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-8
Figure 14.9 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-10
Figure 14.10 System Configuration Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
Figure 14.11 Instrument Setup Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-11
Figure 14.12 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12
Figure 14.13 Safe Area Configuration - Sample Configuration Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-13
Figure 14.14 Safe Area Configuration - Edit Safe Area Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-14
Figure 14.15 License Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-15
Figure 14.16 Recipe Transport Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-16
Figure 14.17 Sequence Execution Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-17
Figure 14.18 Proximity Sensor Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-18
Figure 14.19 Lightweight Stage Table Top . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-20
Figure 14.20 Precision Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-20
Figure 14.21 Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-21
Figure 14.22 Three Point Disk Locator Base Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-22
Figure 14.23 Center Hub Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-22
Figure 14.24 Disk Support for the Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-23
Figure 14.25 P-6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-25
Figure 14.26 P-6 Stress Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-26
Chapter 15 Preventive Maintenance
Chapter 16 Backup and Restore
Figure 16.1 Windows Run Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-1
Figure 16.2 Profiler Backup Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-2
Figure 16.3 Profiler Backup Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-3
Figure 16.4 Profiler Backup Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-3
Figure 16.5 Profiler BackupFiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-4
Figure 16.6 Profiler Restore Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-5
Figure 16.7 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-5
Figure 16.8 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-6
Figure 16.9 Profiler Restore Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-6
Figure 16.10 Profiler Restore Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-7
Appendix A Hazardous Materials
Figure A.1 Hazardous Content Symbol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2
Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment
Figure 1.1 P-6 Hook . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-3